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大气机械手SRBJ1A-AS3491
关键字导读: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

形貌:高干净品级,高精度,高速传片,耐腐化,碰撞庇护,Mapping功用,SEMI认证,供给接口及结尾定制。

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简介

Introduction

大气机械手普遍用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂接纳先辈的构造增强了手臂的刚性,并有用抑止振动,轻量化设想满意高速要求。本体的制造工艺改良有用降低成本,提拔市场竞争力。质料、加工以及外表处置多方面优选,以实现高干净度。具有多重宁静庇护功用。肘部和腕部灵敏掌握,使得机器人能够接纳随便姿式来取放晶元,许可更多的片盒直线排布,更节流空间,适应性更强。是半导体行业的劣势之选。


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参数

Parameter

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