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SRBZ1440A
关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:接纳磁流体密封手艺,网络化控制系统,具有先辈的防碰撞庇护功用及静态纠偏功用,具有SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具有超高干净度,耐高温、耐腐化,负载能力强等特性。满意个性化设想撑持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制效劳。是大负载真空机械手的良好之选。

简介

Introduction

大负载真空机械手, LED芯片制造范畴的真空机械手产物,次要用于LED芯片制造历程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,具有真空度高,负载大,传输服从高,耐高温等特性,大大进步了LED芯片消费制造的良率和服从,是LED芯片制造配备的枢纽产物。传统的LED芯片制造接纳集成电路制造制程使用的真空机械手,其负载才能只要1kg。本产物在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,立异了其传输构造和掌握纪律,使其可以到达20.5kg的负载才能,同时连结很小的占用体积,连结高耐真空度及干净品级。


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参数

Parameter

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