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大气机械手SRBJ1A-AD4401
关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK

形貌:高干净品级,高速传片,碰撞庇护,Mapping,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想手指及接口用户可定制。

简介

Introduction

耦合传动、伺服驱动、干净传动及光滑、SCARA手臂构造,具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高干净度等长处。逢迎个性化设想,手指及接口用户可定制,网络化控制系统,高速传片服从和碰撞庇护功用,SEMI认证S2、F47,MCBF大于1000万次。卖力完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的主动传送。是半导体行业的良好之挑选。

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参数

Parameter

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